PROGETTO E SIMULAZIONE DI ANEMOMETRI BASATI SU SISTEMI MICRO-ELETTRO MECCANICI

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La prima parte di questo lavoro di tesi è volto alla simulazione numerica e al progetto di sensori integrati di velocità dei gas. Di particolare rilevanza è lo studio sulla forma ottimale del package di un sensore di flusso termico integrato, realizzato in tecnologia BCD6, al fine di risolvere problemi connessi a fenomeni di turbolenza del flusso. La seconda parte di questo lavoro di tesi è invece volta allo studio, sempre mediante simulazioni numeriche agli elementi finiti, della possibilità di utilizzare lo stesso sensore di flusso come microfono termico. The first part of this work is aimed to the numerical simulation and to the design of integrated flow sensors. The research of the optimal shape of the package of an integrated thermal flow sensor, implemented in BCD6 technology, in order to solve the problems, connected to the turbulence of the flow, is particularly relevant. Instead, the second part of this work is aimed to the study of the chance to use the same integrated flow sensor as thermal microphone.