CARATTERIZZAZIONE DI MICROSPECCHI ELETTROSTATICI PER COMMUTAZIONE OTTICA

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Oggetto della presente tesi di laurea è la caratterizzazione tramite misure elettriche ed ottiche di un microspecchio torsionale (per commutazione ottica) con struttura a veneziana ad attuazione elettrostatica, da noi progettato in precedenza. Si è ideata e realizzata l'opportuna circuitistica per il pilotaggio e per il prelievo del segnale di uscita e si sono dicussi i risultati.